Microwave applicator and plasma reactor using the same

Abstract

Abstract Translated from French Ce dispositif comprend au moins un module comportant une cavité résonante (2) sensiblement en forme de couronne et délimitée par des parois interne (4), externe (6), inférieure (8) et supérieure (10) conductrices et au moins un guide d'ondes (12) pour amener les micro-ondes dans cette cavité. Au moins l'une des parois de la cavité est pourvue de fentes rayonnantes (14) espacées les unes des autres d'une distance au plus égale à Lg/2 où Lg est la longueur d'onde des micro-ondes dans le guide d'ondes, ce guide d'onde ayant lui-même une longueur au moins égale à Lg/2, pour transférer, à travers ces fentes, de l'énergie électro-magnétique à un matériau disposé en regard de la paroi portant les fentes. <IMAGE> This device comprises at least one module comprising a resonant cavity (2) substantially in the form of a crown and delimited by conductive internal (4), external (6), lower (8) and upper (10) walls and at least one guide. 'waves (12) to bring the microwaves into this cavity. At least one of the walls of the cavity is provided with radiating slots (14) spaced from each other by a distance at most equal to Lg / 2 where Lg is the wavelength of the microwaves in the guide d waves, this waveguide itself having a length at least equal to Lg / 2, for transferring, through these slots, electro-magnetic energy to a material disposed opposite the wall carrying the slots. <IMAGE>

Inventors

• 👤 Barbara Charlet

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