Method and apparatus for fabricating microstructures on a photosensitively layered substrate by means of focussed laser radiation

Abstract

Abstract Translated from German Auf einer lichtempfindlich beschichteten Unterlage durch fokussierte Laserstrahlung hergestelltes geometrisches Muster sowie Verfahren und Vorrichtung zu seiner Herstellung, bei dem in Abhängigkeit von einem Format, das die Musterelemente und ihre Belichtung angibt, mit Hilfe wenigstens eines modulierten und fokussierten Laserstrahls eine auf der Unterlage angeordnete lichtempfindliche Schicht entlang paralleler, in gleichen Abständen voneinander angeordneten Abtastlinien in längs der Abtastlinien gleiche Abstände voneinander aufweisende Bildelementpunkte belichtet wird, wobei der geometrische Abstand zwischen benachbarten Bildelementpunkten in einer Abtastlinie um einen Faktor von wenigstens vier kleiner bemessen wird als der Abstand zwischen benachbarten Abtastlinien. Geometric pattern produced on a light-sensitive coated base by focused laser radiation, and method and device for its production, in which, depending on a format which specifies the pattern elements and their exposure, with the aid of at least one modulated and focused laser beam, a light-sensitive layer arranged on the base along parallel scan lines arranged at equal distances from one another in pixel points having equal distances from one another along the scan lines, the geometric distance between adjacent pixel points in a scan line being dimensioned by a factor of at least four smaller than the distance between adjacent scan lines.

Inventors

• 👤 Anders Thurén
• 👤 Torbjörn Sandström

Bibliographic Details