Combined turbomolecular vacuum pump with two shafts and discharge at atmospheric pressure

Abstract

Abstract Translated from French Pompe permettant d'atteindre un vide moléculaire, comprenant un stator (1) et un ensemble rotorique comportant deux rotors, à axes parallèles (4, 5), tournant en sens inverse, le stator comportant une entrée d'aspiration (2) et une sortie de refoulement (3), caractérisée en ce qu'elle se divise axialement en une première zone (A) située du côté de l'aspiration, suivie d'une seconde zone (B), ladite première zone étant du type turbomoléculaire à ailettes à deux rotors, ladite seconde zone (B) étant du type à deux pistons rotatifs ou à vis, à deux axes parallèles, l'un (4) des axes étant entraîné par un moteur (20) et l'autre par l'intermédiaire de moyens de transmission (8, 9). Pump for reaching a molecular vacuum, comprising a stator (1) and a rotor assembly comprising two rotors, with parallel axes (4, 5), rotating in opposite directions, the stator comprising a suction inlet (2) and a discharge outlet (3), characterized in that it divides axially into a first zone (A) situated on the suction side, followed by a second zone (B), said first zone being of the turbomolecular type with fins with two rotors, said second zone (B) being of the type with two rotary or screw pistons, with two parallel axes, one (4) of the axes being driven by a motor (20) and the other via transmission means (8, 9).

Inventors

• 👤 Claude Saulgeot

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