Method to pose electro optical components on integrated optical wave guides

Abstract

Abstract Translated from German Ein Verfahren zur Anbringung von elektrooptischen Bauteilen (20) an integriertoptischen Wellenleitern (12), die in einem Substrat (10) vorgesehen sind, enthält die Verfahrensschritte: (a) Aufbringen eines Ätzmittels auf das Substrat (10) so, daß in die Oberfläche des Substrats eine Grube (18) eingeätzt wird, welche einen Wellenleiter (12) anschneidet, (b) Positionieren und Haltern eines zu montierenden elektrooptischen Bauteils (20) in der Grube (18) in der gewünschten Position zu dem Wellenleiter (12) und (c) Vergießen des Bauteils (20) in der Grube (18) mit einem sich verfestigenden Material von einem an den Brechungsindex des Wellenleiters angepaßten Brechungs­index. Bei anderen Ausführungen wird die Grube durch Bohren oder Fräsen hergestellt. A method for attaching electro-optical components (20) to integrated optical waveguides (12) which are provided in a substrate (10) contains the method steps: (a) applying an etchant to the substrate (10) so that the surface of the Substrate is etched into a pit (18) which cuts a waveguide (12), (b) positioning and holding an electro-optical component (20) to be mounted in the pit (18) in the desired position relative to the waveguide (12) and (c ) Casting the component (20) in the pit (18) with a solidifying material of a refractive index matched to the refractive index of the waveguide. In other versions, the pit is made by drilling or milling.

Inventors

• 👤 Edilbert Alexander Froning
• 👤 Klaus Alexander Langner

Bibliographic Details