Method and device for the interferometric detection of surface displacements of solid bodies

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren sowie auf eine Vor­richtung zur interferometrischen Detektion von Oberflächenver­schiebungen von Festkörpern, insbesondere bei zu Ultra­schall-Schwingungen angeregtem Prüfgut, wobei ein Beleuchtungslaser 10 auf die Prüfgutoberfläche 2 einstrahlt und ein Teil der Rück­strahlung nach Durchlauf einer demgegenüber unterschiedlichen Weg­länge zur Interferenz gebracht wird, auf deren Feststellung ein Detektor 9 eingerichtet ist. Bei bekannten Ausführungen dieser Art ist eine sehr aufwendige Einrichtung und Regelung erforderlich, um sicherzustellen, daß die Demodulation des rückgestrahlten Laser­lichtes mit höchstmöglicher Empfindlichkeit vorgenommen werden kann. Dies wird erfindungsgemäß dadurch verbessert, daß ein gemein­schaftlicher Beleuchtungslaser 10 für den Betrieb mehrerer mit Lichtleitern 5, 7 ausgeführter Interferometer verwendet wird, die gebündelt in einer gemeinschaftlichen, vom Prüfgut beabstandeten Sende- und Empfangsoptik 4 endigen, von der gleichfalls Detektor­lichtleiter ausgehen, wobei von der Phasenlage abhängige Zuord­nungen zustande kommen, deren Signale zumindest betragsmäßig addiert und zur Erkennung der Ultraschall-Ereignisse verwendet werden. The invention relates to a method and to a device for the interferometric detection of surface displacements of solids, in particular in the case of test material excited to ultrasonic vibrations, an illuminating laser 10 irradiating onto the test material surface 2 and part of the retroreflection after passing through a path length which is different in comparison to that for interference is brought, on the detection of which a detector 9 is set up. In known designs of this type, a very complex device and control is required to ensure that the demodulation of the reflected laser light can be carried out with the highest possible sensitivity. This is improved according to the invention in that a common illumination laser 10 is used for the operation of a plurality of interferometers which are designed with light guides 5, 7 and which are bundled in a common transmission and reception optics 4 which are spaced apart from the test material and from which detector light guides also emanate Assignments that are dependent on the phase position come about, the signals of which are added up at least in terms of magnitude and are used to detect the ultrasound events.

Inventors

• 👤 Roland Dr. Ing. Keck
• 👤 Bertold Dipl.-Ing. Krüger

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