Method of making thin films of superconducting material and films made therewith

Abstract

Abstract Translated from German Durch Abstäuben eines Targets (15) aus Material vorgegebener Zusammensetzung wird eine Schicht eines Hochtemperatur-Supraleiters (HTSL) auf ein Substrat (20) aufgebracht und durch eine Wärmebehandlung auf eine für die Supraleitung geeignete Struktur und Sauerstoffstöchiometrie eingestellt. Gemäß der Erfindung erfolgt das Abstäuben durch Sputtern mittels eines Magnetrons (10) bei dem das Substrat (20) in geneigter Orientierung in einem Winkel von 45° bis 90° zum Target (15) steht. Vorzugsweise steht das Substrat (20) mit seiner Fläche in senkrechter Orientierung zum Target (15). Es wird bevorzugt ein planares DC-Magnetron (10) verwendet. Bei Einhaltung dieser Bedingungen können texturierte hochtemperatur-supraleitende-Schichten auf polykristallinen Substraten hergestellt werden. Dabei weist die jeweils hergestellte Schicht für die Stromtragfähigkeit günstige c-Achsen-Orientierungen auf. A layer of a high-temperature superconductor (HTSL) is applied to a substrate (20) by dusting a target (15) from material of a given composition and is adjusted to a structure and oxygen stoichiometry suitable for superconductivity by heat treatment. According to the invention, dusting is carried out by sputtering using a magnetron (10) in which the substrate (20) is in an inclined orientation at an angle of 45 ° to 90 ° to the target (15). The surface of the substrate (20) is preferably perpendicular to the target (15). A planar DC magnetron (10) is preferably used. If these conditions are met, textured high-temperature superconducting layers can be produced on polycrystalline substrates. The layer produced in each case has favorable c-axis orientations for the current carrying capacity.

Inventors

• 👤 Helmut Freller
• 👤 Ulrich Dipl.-Phys. Härlen
• 👤 Beate Schwarzenbach
• 👤 Yilmaz Dipl.-Phys. Uzel

Bibliographic Details