Positive-working radiation-sensitive composistion and radiation-sensitive recording material produced therefrom

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung betrifft ein positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch enthaltend eine Verbindung, die unter Einwirkung von aktinischer Strahlung eine Säure bildet sowie eine Verbindung, die durch Säure spaltbar ist, wobei die durch Säure spaltbare Verbindung als Spaltprodukt einen aromatisch substituierten Alkohol gemäß der allgemeinen Formel I aufweist. The invention relates to a positive-working radiation-sensitive mixture comprising a compound which forms an acid under the action of actinic radiation and a compound which is cleavable by acid, the compound cleavable by acid having an aromatically substituted alcohol according to the general formula I as the cleavage product. Das erfindungsgemäße strahlungsempfindliche Gemisch läßt sich in reiner, einheitlicher Form herstellen, zeigt einen großen Verarbeitungsspielraum, weil unterschiedlich lange Haltezeiten keine Änderungen hinsichtlich der Entwicklungszeiten hervorrufen, wobei eine hohe Strukturauflösung mit unterschiedlichen Entwicklern gegeben ist. The radiation-sensitive mixture according to the invention can be produced in a pure, uniform form, shows a large processing latitude, because holding times of different lengths do not cause any changes in the development times, with a high structural resolution with different developers.

Inventors

• 👤 Karl-Friedrich Dr. Dössel
• 👤 Ralph Dr. Dammel
• 👤 Jürgen Dr. Lingnau

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