Method for determining the concentrations of gases in a gaseous mixture, and probe for measuring the thermal conductivity

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Bestimmung der Gaskon­zentrationen in einem Gasgemisch durch Messung der Wärmeleitfähig­keit des Gasgemisches. Die Wärmeleitfähigkeit des Gasgemisches mit N Gaskomponenten wird bei N-1 Gastemperaturen gemessen. Aus den ermittelten Wärmeleitfähigkeits-Meßwerten werden die einzelnen Gaskonzentrationen berechnet. The invention describes a method for determining the gas concentrations in a gas mixture by measuring the thermal conductivity of the gas mixture. The thermal conductivity of the gas mixture with N gas components is measured at N-1 gas temperatures. The individual gas concentrations are calculated from the measured thermal conductivity values. Ein geeigneter Sensor zur Messung der Wärmeleitfähigkeit bei ver­schiedenen Gastemperaturen besteht aus einer Si-Trägerplatte (1) mit aufgeätzten Dünnfilmwiderständen (5), auf der eine Deckplatte (2) ruht. Beide Platten weisen in Höhe der Dünnfilmwiderstände eingeätzte Gruben (7a, 7b) auf, die die Meßkammer bilden. Über einen Diffusionskanal (8) und Öffnungen (11a, 11b) hat das zu bestimmende Gasgemisch Zutritt zur Meßkammer. A suitable sensor for measuring the thermal conductivity at different gas temperatures consists of a Si carrier plate (1) with etched thin film resistors (5) on which a cover plate (2) rests. Both plates have etched pits (7a, 7b) at the level of the thin film resistors, which form the measuring chamber. The gas mixture to be determined has access to the measuring chamber via a diffusion channel (8) and openings (11a, 11b).

Inventors

• 👤 Heinz-Dieter Dr. Göldner
• 👤 Bertold Dr. Horn
• 👤 Thomas Liedtke
• 👤 Wolf-Rüdiger Dr. Marx
• 👤 Werner Dr. Schaefer

Bibliographic Details