Leak-detecting apparatus and its operating method

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung bezieht sich auf ein nach dem Gegenstromprinzip arbeitendes Lecksuchgerät mit einer ersten Hochvakuumpumpstufe (9), deren Eintrittsseite (8) mit dem Einlaß (1) des Lecksuchgerätes verbunden ist, mit einer zweiten Hochvakuumpumpstufe (12), deren Eintrittsseite (13) mit einem Massenspektrometer (14) verbunden ist, und mit einer Vorvakuumpumpe (19), deren Eintrittsseite (18) mit dem Austrittsseiten (15, 16) der Hochvakumpumpstufen (9, 12) vebunden ist; um einerseits besonders grobe Lecks feststellen zu können und andererseits Überlastungen infolge hoher Testgaskonzentrationen zu vermeiden, ist eine zweite Vorvakuumpumpe (26) vorgesehen, deren Eintrittsseite (25) zum einem über eine mit einem Stellventil (24) ausgerüstete Leitung (23) mit dem Einlaß (1) des Lecksuchgerätes und zum anderen über eine mit einer Drossel (29) ausgestattete Leitung (27) mit der Eintrittsseite (18) der ersten Vorvakuumpumpe (19) verbunden ist. The invention relates to a leak detector operating according to the countercurrent principle with a first high vacuum pump stage (9), the inlet side (8) of which is connected to the inlet (1) of the leak detector, with a second high vacuum pump stage (12), the inlet side (13) of which Mass spectrometer (14) is connected, and with a backing pump (19), the inlet side (18) of which is connected to the outlet sides (15, 16) of the high vacuum pump stages (9, 12); In order to determine particularly large leaks on the one hand and to avoid overloads due to high test gas concentrations on the other hand, a second forevacuum pump (26) is provided, the inlet side (25) of which is connected to the inlet (23) via a line (23) equipped with a control valve (24). 1) of the leak detector and, on the other hand, is connected via a line (27) equipped with a throttle (29) to the inlet side (18) of the first backing pump (19).

Inventors

• 👤 Werner Grosse Bley
• 👤 Günter Dr. Reich

Bibliographic Details