Device for contactless measurement of remission

Abstract

Abstract Translated from German Es wird ein Remissionsmeßgerät zur berührungslosen Messung von strukturierten Proben beschrieben, bei dem das Meßergebnis vom Abstand der Probe innerhalb eines Differenzbereiches (d) unab­hängig ist. Dazu haben die Beleuchtungs- und die Meßeinrichtung eine gemeinsame Mittelachse (z), die senkrecht auf der Proben­oberfläche (10b) steht. Mindestens die Beleuchtungs- oder die Meßeinrichtung besteht aus mindestens drei Strahlungsgebern (12, 14a, 33) oder Strahlungsaufnehmern (12, 14a, 33) deren optische Achsen auf mindestens einem konzentrischen Konus (c) um die Mittelachse (z) angeordnet sind. Von den Strahlungsge­bern (12, 14a, 33) und Strahlungsaufnehmern (12, 14a, 33) sind die einen mit einem Parallelstrahlbündel (12a) mit einem Kern­bereich (k) und die anderen mit einem Bündel (14r, 33r) mit begrenzter Apertur ausgebildet, wobei der von der begrenzten Apertur bzw. den begrenzten Aperturen erfaßte Bereich (m) mit der Probenoberfläche (10b) innerhalb eines Abstandsbereiches (d) kleiner ist als der Kernbereich (k). A reflectance measuring device for the contactless measurement of structured samples is described, in which the measurement result is independent of the distance of the sample within a difference range (d). For this purpose, the illuminating and measuring devices have a common central axis (z) which is perpendicular to the sample surface (10b). At least the lighting or measuring device consists of at least three radiation sensors (12, 14a, 33) or radiation sensors (12, 14a, 33) whose optical axes are arranged on at least one concentric cone (c) around the central axis (z). The radiation emitters (12, 14a, 33) and radiation receivers (12, 14a, 33) are designed with a parallel beam (12a) with a core area (k) and the others with a beam (14r, 33r) with a limited aperture, the area (m) with the sample surface (10b) covered by the limited aperture or the limited apertures being smaller than the core area (k) within a distance area (d).

Inventors

• 👤 Gerhard Dr. Hohberg
• 👤 Hermann Dr. Gerlinger

Bibliographic Details