Process and device for coating conducting objects by means of glow discharge

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung betriffe ein Verfahren und eine Vorrichtung zum schonenden Beschichten von elektrisch leitenden Gegenständen mittels ionisierter Dämpfe aus einem durch Glimmentladung erzeugten Plasma, wobei eine Zufuhr von elektrischer Energie ins Plasma durch periodisch wiederholte Impulse erfolgt. Dadurch wird erreicht, daß die zu beschichtenden Teile einer, in weiten Bereichen dosierbaren Ionenstrom- bzw. Temperaturbelastung ausgesetzt sind. Durch Überlagerung von gepulsten und ungepulsten Magnetfeldern ist die Beschichtung zusätzlich zu beeinflussen. The invention relates to a method and a device for the gentle coating of electrically conductive objects by means of ionized vapors from a plasma generated by glow discharge, wherein electrical energy is supplied to the plasma by periodically repeated pulses. It is thereby achieved that the parts to be coated are exposed to an ion current or temperature load which can be metered over a wide range. The coating can also be influenced by superimposing pulsed and unpulsed magnetic fields.

Inventors

• 👤 Reinar Grün

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