Device for the storage and transport of objects in an environment with a high degree of purity

Abstract

Abstract Translated from French L'installation selon l'invention permet le traitement d'objets dans une atmosphère de très haute propreté. Son coût est réduit puisque les volumes mis en jeu sont eux mêmes réduits. Elle comprend une armoire de stockage des objets, des moyens de traitement (246) des objets, des moyens de transfert des objets entre les moyens de stockage et les moyens de traitement d'un desdits objets, constitués de conteneurs mobiles (210a) et de conteneurs fixes (210b) fixés au moyen de traitement.Les conteneurs mobiles peuvent s'accoupler à l'armoire et aux conteneurs fixes, pour effectuer le transfert des objets à traiter. Elle comprend également des moyens de ventilation de tout l'intérieur de l'installation pour soumettre un permanence les objets à un flux de gaz de haute propreté, qui peuvent être, soit des ventilateurs et des filtres internes, soit une source externe (250) de gaz ultrapropre sous pression. Application au traitement de plaquettes de silicium, et à l'industrie de la microélectronique en général. The installation according to the invention allows the treatment of objects in an atmosphere of very high cleanliness. Its cost is reduced since the volumes involved are themselves reduced. It comprises an object storage cabinet, means for processing (246) objects, means for transferring objects between the storage means and the means for processing one of said objects, consisting of mobile containers (210a) and of fixed containers (210b) fixed by means of treatment. Mobile containers can be coupled to the cabinet and to fixed containers, to effect the transfer of the objects to be treated. It also includes means for ventilating the entire interior of the installation in order to permanently subject the objects to a stream of high cleanliness gas, which can be either internal fans and filters or an external source (250) ultra clean gas under pressure. Application to the processing of silicon wafers, and to the microelectronics industry in general.

Inventors

• 👤 Jean-Pierre Lazzari
• 👤 Henri Cortial

Bibliographic Details