Method and apparatus for lapping or polishing optical surfaces

Abstract

Abstract Translated from German Das relativ zum Werkzeug bewegte Werkstück (1) wird mit einem Werkzeug in Form einer streifenförmig ausgebildeten flexiblen Membran (5) bearbeitet, auf deren Rückseite Belastungselemente (7) mit einzeln ansteuerbarer Andruckkraft angeordnet sind. Die von den Belastungselementen (7) auf das Werkstück (1) ausgeübte Druckverteilung wird zeitlich, abhängig von der Position des Werkstücks (1) variiert. The workpiece (1), which is moved relative to the tool, is processed with a tool in the form of a strip-shaped flexible membrane (5), on the back of which loading elements (7) are arranged with individually controllable pressing force. The pressure distribution exerted by the loading elements (7) on the workpiece (1) is varied over time, depending on the position of the workpiece (1). Mit Hilfe des Verfahrens lassen sich große optische Elemente wie z.B. Teleskopspiegel und Glanzwinkeloptik für Röntgen­teleskope schneller als mit den bisher bekannten Verfahren polieren, wobei auch nicht-rotationssymmetrische Fehler der Oberfläche beseitigt werden können. With the aid of the method, large optical elements such as, for example, telescopic mirrors and glossy angle optics for X-ray telescopes can be polished faster than with the previously known methods, and non-rotationally symmetrical defects in the surface can also be eliminated.

Inventors

• 👤 Erich Dr. Heynacher

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