Microvalve

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung bezieht sich auf ein Mikroventil (1) mit einer auf elektrostatische Kräfte ansprechenden Verschluß­membran (7), die mit Federelementen (8) mit dem Struktur­rand eines Siliziumsubstrates (2) verbunden und aus diesem mittels Ätzen hergestellt ist, sowie mit einer durch die Verschlußmembran zu verschließenden und freizugebenden Ventilöffnung (20), in deren Bereich eine Gegenelektrode (15) zu der Verschlußmembran angeordnet ist. Zur Erleich­terung der Herstellung und der Schalteigenschaften des Mikroventiles wird gemäß der Erfindung vorgeschlagen, daß sich die Gegenelektrode (15) auf der Oberfläche eines weiteren Substrates, vorzugsweise Glassubstrates (14) befindet, in dem auch die Ventilöffnung (20) vorgesehen ist. Das weitere Substrat (14) ist durch eine Distanz­schicht (11) in Abstand von der verschlossenen Membran (7) gehalten. Das weitere Substrat (14) und die Siliziumstruk­tur (2, 11) werden bevorzugt durch anodisches Bonden miteinander verbunden. The invention relates to a microvalve (1) with a closure membrane (7) which responds to electrostatic forces, which is connected with spring elements (8) to the structural edge of a silicon substrate (2) and is produced from it by means of etching, and with one through the closure membrane valve opening (20) to be closed and released, in the area of which a counter electrode (15) to the sealing membrane is arranged. To facilitate the manufacture and the switching properties of the microvalve, it is proposed according to the invention that the counter electrode (15) is located on the surface of a further substrate, preferably a glass substrate (14), in which the valve opening (20) is also provided. The further substrate (14) is kept at a distance from the closed membrane (7) by a spacer layer (11). The further substrate (14) and the silicon structure (2, 11) are preferably connected to one another by anodic bonding.

Inventors

• 👤 Laszlo Dipl.-Ing. Csepregi
• 👤 Karl Dipl.-Ing. Kühl
• 👤 Helmut Dipl.-Phys. Seidel

Bibliographic Details