Detector mat and method for its production

Abstract

Abstract Translated from German Die Detektormatte enthält eine Matrix aus taktilen Sensoren (2), die jeweils einen Verbundwerkstoff mit druck- und richtungsabhängiger elektrischer Leitfähigkeit enthalten und die mit Spaltenelektroden (14, 15) und Zeilenelektroden (20 bis 22) versehen sind. Erfindungsgemäß enthalten die Sensoren (2) jeweils eine Reihenschaltung aus dem veränderbaren Widerstand (5) des Verbundwerkstoffes (7) mit einer Kapazität (6) von vorzugsweise wenigstens 500 pF. In dieser Matrix aus taktilen Sensoren dient der druckabhängige Widerstand zusammen mit der zugeordneten festen Kapazität als Meßgröße. Die Detektormatte hat durch einen geringen Abstand der Sensoren (2) eine gute Auflösung. Sie kann in einfacher Weise dadurch hergestellt werden, daß ein Träger (26) in Dünnfilmtechnik nacheinander mit den entsprechenden Schichten versehen wird, aus denen dann durch Strukturierung die Spaltenelektroden (14, 15) gegebenenfalls mit dem Dielektrikum (8) hergestellt werden. The detector mat contains a matrix of tactile sensors (2), each of which contains a composite material with pressure and direction-dependent electrical conductivity and which are provided with column electrodes (14, 15) and row electrodes (20 to 22). According to the invention, the sensors (2) each contain a series connection made of the variable resistor (5) of the composite material (7) with a capacitance (6) of preferably at least 500 pF. In this matrix of tactile sensors, the pressure-dependent resistance together with the assigned fixed capacitance serves as a measured variable. The detector mat has a good resolution due to the small distance between the sensors (2). It can be produced in a simple manner by successively providing a carrier (26) in thin-film technology with the corresponding layers, from which the column electrodes (14, 15) are then optionally fabricated with the dielectric (8).

Inventors

• 👤 Günther Dipl.-Ing. Gräbner
• 👤 Dietrich Dr. Dipl.-Ing. Stephani

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