Method and apparatus for microwave excitation of a plasma at the electron cyclotron resonance

Abstract

Abstract Translated from French Procédé et dispositif d'excitation d'un plasma par micro-ondes à la résonance cyclotronique électronique. Le dispositif d'excitation d'un milieu gazeux par micro-ondes comprend au moins une structure coaxiale (4) pour l'introduction de la puissance micro-ondes à l'intérieur d'une structure de confinement multipolaire (100) et au moins une antenne (5) couplée à la structure coaxiale (4) pour l'introduction localisée de l'énergie micro-ondes à l'intérieur de la structure de confinement magnétique multipolaire (100) qui comprend une série d'aimants permanents (1) créant un réseau de surfaces (3) à champ magnétique constant et présentant localement une intensité correspondant à la résonance cyclotronique électronique. L'antenne (5) est positionnée sur ledit réseau de surfaces à champ magnétique constant dans une zone d'intensité correspondant à la résonance cyclotronique électronique. Application à la création de plasma dense, de grand volume, de bonne homogénéité, isotrope et exempt de champs dans la zone d'utilisation. Method and device for excitation of a plasma by microwave with electronic cyclotron resonance. The device for excitation of a gaseous medium by microwave comprises at least one coaxial structure (4) for the introduction of microwave power inside a multipolar confinement structure (100) and at least an antenna (5) coupled to the coaxial structure (4) for the localized introduction of microwave energy inside the multipolar magnetic confinement structure (100) which comprises a series of permanent magnets (1) creating a network of surfaces (3) with constant magnetic field and locally having an intensity corresponding to the electronic cyclotron resonance. The antenna (5) is positioned on said array of surfaces with a constant magnetic field in an intensity zone corresponding to the electronic cyclotron resonance. Application to the creation of dense plasma, of large volume, of good homogeneity, isotropic and free of fields in the zone of use.

Inventors

• 👤 Michel Pichot
• 👤 Jacques Pelletier
• 👤 Yves Arnal

Bibliographic Details