Electrostatic rebalancing, microproduction accelerometer

Abstract

Abstract Translated from French L'accéléromètre selon l'invention utilise au moins un capteur à structure pendulaire plane réalisée par micro-usinage d'une fine plaquette (1) de monocristal et comprenant une masse mobile plate (3) suspendue au reste de la structure par l'intermédiaire de deux lames minces parallèles (4, 5) situées de part et d'autre de ladite masse (3). Cette masse (3) comprend au moins une armature mobile de condensateur disposée entre deux armatures fixes de condensateur prévues sur la partie fixe de l'élément pendulaire. L'armature mobile est portée à une tension V0, tandis que les armatures fixes sont respectivement portées à des tensions V1 et V2 qui sont susceptibles d'engendrer, sur la masse mobile (3), une force de rappel électrostatique. Grâce à la simplicité de cette structure et de ce type de motorisation, il est possible d'obtenir des accéléromètres hautement miniaturisés. The accelerometer according to the invention uses at least one sensor with planar pendulum structure produced by micromachining of a thin plate (1) of single crystal and comprising a flat mobile mass (3) suspended from the rest of the structure by means of two parallel thin blades (4, 5) located on either side of said mass (3). This mass (3) comprises at least one movable capacitor frame disposed between two fixed capacitor frames provided on the fixed part of the pendulum element. The movable armature is brought to a voltage V0, while the fixed armatures are brought respectively to voltages V1 and V2 which are capable of generating, on the movable mass (3), an electrostatic restoring force. Thanks to the simplicity of this structure and this type of motorization, it is possible to obtain highly miniaturized accelerometers.

Inventors

• 👤 André Boura

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