Capacitive pressure sensor

Abstract

Abstract Translated from German Kapazitiver Drucksensor mit einer Silizium-Membran - (22) und einer gemeinsamen ersten Elektrode (100), die mit einer zweiten und dritten Elektrode (62 bzw. 64) jeweils einen Kondensator bildet Die zweiten und dritten Elektroden (62, 6 4 ) sind spiegelbildlich zueinander bezüglich einer Symmetrieebene angeordnet, die senkrecht auf der Oberfläche der Silizium-Membran steht und die Silizium-Membran (22) und die erste Elektrode (100) in zwei gleiche Hälften teilt. Dadurch erhält man zwei druckempfindliche Kondensatoren, deren Kapazitätänderung in Abhängigkeit vom Druck jeweils gleich groß ist Capacitive pressure sensor with a silicon membrane - (22) and a common first electrode (100), each of which forms a capacitor with a second and third electrode (62 and 64). The second and third electrodes (62, 6 4 ) are mirror images arranged with respect to one another with respect to a plane of symmetry which is perpendicular to the surface of the silicon membrane and divides the silicon membrane (22) and the first electrode (100) into two equal halves. This results in two pressure-sensitive capacitors, the capacitance change of which is the same depending on the pressure

Inventors

• 👤 Siegried Gassong

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