Scanning lens system without deflection chromatic defects for corpuscular beam treatment of material

Abstract

Abstract Translated from German Bei einem Rasterlinsen-System für ein Rasterkorpuskularstrahl-Gerät mit Ablenkelementen und mit korpuskularoptischen Linsen soll der Ablenkfarbfehler für beliebige Ablenkwinkel verschwinden und soll das Linsenfeld einer magnetischen Projektionslinse frei von magnetischen Ablenkelementen sein. Dynamisch ablenkende Dipol-Elemente (AE1,AE2, AM1,AM2) sind in Korpuskularstrahlrichtung vor mindestens einer abbildenden Linse (R1,R2) angeordnet Der isotrope Ablenkfarbfehler der dynamisch ablenkenden Dipol-Elemente (AE1,AE2,AM1,AM2) kompensiert den isotropen Ablenkfarbfehler der mindestens einen abbildenden Linse (R1,R2). Die mindestens eine abbildende Linse (R1,R2) bildet ein verdrehungsfreies System. In a raster lens system for a raster-corpuscular beam device with deflection elements and with corpuscular-optical lenses, the deflection color error should disappear for any deflection angle and the lens field of a magnetic projection lens should be free of magnetic deflection elements. Dynamically deflecting dipole elements (AE1, AE2, AM1, AM2) are arranged in the corpuscular beam direction in front of at least one imaging lens (R1, R2). The isotropic deflection color error of the dynamically deflecting dipole elements (AE1, AE2, AM1, AM2) compensates for the isotropic deflection color error the at least one imaging lens (R1, R2). The at least one imaging lens (R1, R2) forms a twist-free system.

Inventors

• 👤 Erich Dr. Dipl.Phys. Plies
• 👤 Gerd Dr. Dipl.-Phys. Kuck

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