Magnetron-cathodes for the sputtering of ferromagnetic targets

Abstract

Abstract Translated from German @ Magnetronkatode zum Zerstäuben ferromagnetischer Targets (7). An einem Katodengrundkörper (1) ist ein Magnetsystem (2) angeordnet, das aus ineinanderliegenden Magnetpolen (3a, 3b) entgegengesetzter Polarität besteht. Zwischen aus Targetmaterial bestehenden Polschuhen (8,9) und dem Target (7) werden in Tiefenrichtung der Anordnung zwei umlaufende Luftspalte (12, 13) gebildet. Magnetpole (3a, 3b) und Target (7) überschneiden sich in einer Projektionsfläche nicht. Zum Zwecke einer Vergleichmäßigung der Targetabtragung bei gleichzeitig hoher Zerstäubungsrate sind erfindungsgemäß die Polschuhe (8, 9) durch je einen Abstand "S" von den Magnetpolen (3a, 4a) getrennt. Die Magnetpole liegen dabei in einem Bereich, der sich, ausgehend von einer durch die Zerstäubungsfläche (7a) gelegten Ebene in Tiefenrichtung der Anordnung erstreckt. Zwischen den Polschuhen (8,9) und dem Target (7) einerseits und den Magnetpolen (3a, 4a) andererseits ist ein wärmeleitender Metallkörper angeordnet, der mit mindestens einem Kühlmittelkanal in Verbindung steht und aus einem nicht ferromagnetischen Werkstoff besteht. @ Magnetron cathode for sputtering ferromagnetic targets (7). A magnet system (2), which consists of magnetic poles (3a, 3b) of opposite polarity lying one inside the other, is arranged on a cathode base body (1). Two circumferential air gaps (12, 13) are formed between pole pieces (8, 9) consisting of target material and the target (7) in the depth direction of the arrangement. Magnetic poles (3a, 3b) and target (7) do not overlap in one projection area. According to the invention, the pole shoes (8, 9) are separated from the magnetic poles (3a, 4a) by a distance "S" for the purpose of homogenizing the target removal with a simultaneously high atomization rate. The magnetic poles lie in a region that extends from a plane through the atomizing surface (7a) in the depth direction of the arrangement. A heat-conducting metal body is arranged between the pole shoes (8, 9) and the target (7) on the one hand and the magnetic poles (3a, 4a) on the other hand, which is connected to at least one coolant channel and consists of a non-ferromagnetic material.

Inventors

• 👤 Hans Dr.-Ing. Aichert
• 👤 Reiner Dipl.-Physiker Kukla
• 👤 Jörg Dr. Phys. Kieser

Bibliographic Details