Getter sorption pump having a heat accumulator for high-vacuum and gas discharge plants

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptionspumpe mit mindestens einem Getterkörper (3) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement (1). Bei dieser Getterpumpe soll eine hohe Pumpgeschwindigkeit durch eine extrem große Oberfläche auf kleinstem Raum erreicht werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß das Heizelement (1) in einem Isolierrohr (2) angeordnet ist, und daß eine Vielzahl von Einzel-Getterkörpern (3) voneinander beabstandet auf dem Isolierrohr (2) angebracht ist. Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen Verwendung. The invention relates to a getter sorption pump with at least one getter body (3) made of non-evaporating getter material and an associated heating element (1). With this getter pump, a high pump speed is to be achieved through an extremely large surface area in the smallest space. For this purpose, the invention provides that the heating element (1) is arranged in an insulating tube (2) and that a plurality of individual getter bodies (3) are mounted on the insulating tube (2) at a distance from one another. A getter pump according to the invention is used in high vacuum and gas discharge systems.

Inventors

• 👤 Heinz Ing. grad. Mägdefessel

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