Capacitive differential-pressure transducer

Abstract

Abstract Translated from German Der auch für die Durchflußmessung explosiver Flüssigkeiten oder Gase geeignete Differenzdrucksensor besteht aus einem mit Schichtelektroden 12, 13 belegten Grundkörper 1 aus Isoliermaterial und zwei Membranen 2, 3, die aus Isoliermaterial gefertigt und auf den dem Grundkörper 1 zugewandten Seiten mit Schichtelektroden 14, 15 belegt sind. Die Schichtelektroden 12, 13 des Grundkörpers 1 bilden mit den Schichtelektroden 14, 15 der Membranen 2, 3 je eine von der Membranauslenkung abhängige Kapazität. Die Membranen 2, 3 bilden mit dem Grundkörper 1 Hohlräume 7, 8, die mit einer inkompressiblen Flüssigkeit gefüllt sind. The differential pressure sensor, which is also suitable for the flow measurement of explosive liquids or gases, consists of a base body 1 covered with layer electrodes 12, 13 made of insulating material and two membranes 2, 3, which are made of insulating material and are covered with layer electrodes 14, 15 on the sides facing the base body 1 . The layer electrodes 12, 13 of the base body 1, together with the layer electrodes 14, 15 of the membranes 2, 3, each form a capacitance which is dependent on the membrane deflection. The membranes 2, 3 form with the base body 1 cavities 7, 8, which are filled with an incompressible liquid.

Inventors

• 👤 Reiner Dr. Orlowski
• 👤 Rolf Kobs
• 👤 Manfred Liehr

Bibliographic Details