Spectrometer objective for particle-beam measuring techniques

Abstract

Abstract Translated from German Eine Anordnung für die Korpuskularstrahl-Meßtechnik mit einem Objektiv (01, 02) zur Abbildung von Primärkorpuskeln (PE) auf eine Probe (PR) und mit einem Spektrometer zum Nachweis von Sekundärkorpuskeln (SE) soll eine wirksame Steigerung des Sondenstromes und/oder eine verbesserte Potentialauflösung ermöglichen. Ein Teil des Feldes des Objektivs (01, 02) ist zur Fokussierung der Sekundärkorpuskel (SE) auf die die Energieselektion bestimmende Elektrode (G2) vorgesehen. An arrangement for the corpuscular beam measuring technique with an objective (01, 02) for imaging primary corpuscles (PE) on a sample (PR) and with a spectrometer for the detection of secondary corpuscles (SE) is intended to effectively increase and / or improve the probe current Enable potential resolution. Part of the field of the objective (01, 02) is provided for focusing the secondary corpuscles (SE) on the electrode (G2) determining the energy selection.

Inventors

• 👤 Burkhard Prof. Dr. Ing. Lischke
• 👤 Erich Dr. Rer. Nat. Plies

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