Device for monitoring the thickness of thin, hardly absorbing films

Abstract

Abstract Translated from French Dispositif de contrôle d'épaisseur d'une couche mince (3B) faiblement absorbante sur un support (3A), partiellement ou totalement réfléchissant caractérisé en ce qu'il comprend - une source de lumière (8) monochromatique ou quasi monochromatique dirigée sur la couche, un séparateur (13) de lumière partageant le faisceau en deux parties, une première partie (Io) étant dirigée sur un premier convertisseur optoélectronique linéaire (15A) fournissant un premier signal électrique (Ioe), une seconde partie (It) du faisceau étant dirigée sur la couche, s'y réfléchissant et étant dirigée sur un second convertisseur linéaire optoélectronique (15B) fournissant un second signal électrique (Ie), - un moyen pour effectuer le rapport du second signal électrique au premier signal électrique, - un moyen pour obtenir la dérivée dudit rapport, - un moyen pour fournir un signal lorsque ladite dérivée est restée comprise, pendant un temps donné, entre deux valeurs données encadrant une valeur de consigne représentative de l'épaisseur désirée. Device for controlling the thickness of a thin layer (3B) which is weakly absorbent on a support (3A), partially or totally reflecting, characterized in that it comprises - a light source (8) monochromatic or quasi-monochromatic directed on the layer , a light splitter (13) dividing the beam into two parts, a first part (Io) being directed on a first linear optoelectronic converter (15A) providing a first electrical signal (Ioe), a second part (It) of the beam being directed on the layer, reflecting thereon and being directed on a second optoelectronic linear converter (15B) providing a second electrical signal (Ie), - means for effecting the ratio of the second electrical signal to the first electrical signal, - means for obtaining the derivative of said report, - a means for supplying a signal when said derivative has remained, for a given time, between two given values framing a set value representative of the desired thickness.

Inventors

• 👤 Jean Canteloup

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