Mechanically scanned target holder

Abstract

Abstract Translated from French Porte-cibles à balayage mécanique. Le dispositif comprend plusieurs supports de cibles (6, 8) montés sur un plateau (2) mobile en rotation autour d'un axe (XX') et des moyens de déplacement des supports par rapport au plateau (2) agencés de telle sorte que l'incrément de déplacement radial d'un support (6) entre deux passages consécutifs devant le faisceau (F) soit constant pendant la durée d'une excursion entre les deux positions extrêmes du support (6). Application à l'implantation d'ions sur une plaquette de silicium. Mechanical scanning target holders. The device comprises several target supports (6, 8) mounted on a plate (2) movable in rotation about an axis (XX ') and means for moving the supports relative to the plate (2) arranged so that the increment of radial displacement of a support (6) between two consecutive passages in front of the beam (F) is constant for the duration of an excursion between the two extreme positions of the support (6). Application to the implantation of ions on a silicon wafer.

Inventors

• 👤 Michel Bruel
• 👤 Jean Escaron
• 👤 Joseph Labartino

Bibliographic Details