MAGNETRON CATHODE SPRAYING DEVICE.

Abstract

Abstract Translated from English Dispositif rotatif de bombardement cathodique a magnetron destine a fonctionner a l'interieur d'une chambre pouvant etre evacuee pour recouvrir des substrats qui sont aussi contenus dans la chambre. La cathode comprend un tube cylindrique allonge (120) presentant sur sa surface exterieure une couche (122) du materiau ou des materiaux de revetement destines a etre pulverises par bombardement. Un moyen magnetique (126) est monte avec le tube et comprend au moins une rangee d'aimants permanents en forme de U (164) s'etendant le long du tube. Le tube est dispose horizontalement et monte de maniere rotative dans la chambre de revetement (121) de maniere telle qu'il puisse tourner sur son axe longitudinal par rapport aux aimants (164) pour amener de maniere selective des portions ou segments differents du meme materiau de pulverisation par bombardement ou de materiaux differents dans une position de bombardement par rapport aux aimants et au champ magnetique. Des moyens sont aussi prevus pour le refroidissement de l'interieur de la cathode. Rotating magnetron cathodic bombardment device intended to operate inside a chamber which can be evacuated to cover substrates which are also contained in the chamber. The cathode comprises an elongated cylindrical tube (120) having on its outer surface a layer (122) of the material or coating materials intended to be sprayed by bombardment. Magnetic means (126) is mounted with the tube and includes at least one row of U-shaped permanent magnets (164) extending along the tube. The tube is arranged horizontally and rotatably mounted in the coating chamber (121) so that it can rotate on its longitudinal axis relative to the magnets (164) to selectively bring different portions or segments of the same material of bombardment spraying or of different materials in a bombardment position with respect to the magnets and the magnetic field. Means are also provided for cooling the interior of the cathode.

Inventors

• 👤 Harold E Mckelvey

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