Helium leak detector

Abstract

Abstract Translated from French L'invention a pour objet un détecteur de fuites à hélium à spectromètre de masse dans lequel le spectromètre comporte une cellule spectrométrique (8) de mesure disposée en dérivation sur une pompe (6) dont la sortie (7) est court-circuitée sur l'entrée (5) par une canalisation (10) en amont d'un étranglement (11), caractérisé en ce que la pompe (6) est une pompe à vide secondaire. The subject of the invention is a helium leak detector with mass spectrometer in which the spectrometer comprises a spectrometric cell (8) for measurement arranged in bypass on a pump (6) whose output (7) is short-circuited on the inlet (5) via a pipe (10) upstream of a throttle (11), characterized in that the pump (6) is a secondary vacuum pump.

Inventors

• 👤 Jacques Tallon

Bibliographic Details