Method of picking up crystal disks

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufnehmen von Kristallscheiben unter Ausnutzung der Sogwirkung an den Kristallscheiben vorbeiströmenden Gases, wobei eine annähernd punktförmige Abstützung der Kristallscheibe zustandekommt. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Haltewerkzeug zur Durchführung des Verfahrens, das im Zentrum der Haltefläche eine punktförmige auslaufende Erhöhung aufweist. The invention relates to a method for receiving crystal wafers using the suction effect of gas flowing past the crystal wafers, whereby an approximately punctiform support of the crystal wafer is achieved. Furthermore, the invention relates to a holding tool for carrying out the method, which has a punctiform tapering elevation in the center of the holding surface.

Inventors

• 👤 Bernd Dr. Dipl.-Ing. Schiele
• 👤 Johann Niedermeier

Bibliographic Details