Process for the removal of boron from silicon by zone-melting with a reactive plasma

Abstract

Abstract Translated from French Pour purifier du silicium par fusion de zone et éliminer le bore, on effectue la fusion de zone d'un lingot du silicium en dirigeant sur la zone un jet de plasma chaud obtenu par excitation haute fréquence. Le plasma est constitué d'un mélange de gaz plasmogène, tel que l'argon, et d'oxygène à une teneur suffisamment faible pour ne pas oxyder le silicium. Le lingot de silicium (13) est placé dans une nacelle que l'on déplace par rapport au générateur de plasma (20) pour faire circuler la zone fondue et longue du lingot. To purify silicon by zone fusion and eliminate boron, zone fusion of a silicon ingot is carried out by directing a jet of hot plasma obtained by high frequency excitation onto the zone. The plasma is made up of a mixture of plasmogenic gas, such as argon, and oxygen at a sufficiently low content not to oxidize the silicon. The silicon ingot (13) is placed in a nacelle which is moved relative to the plasma generator (20) to circulate the molten and long area of the ingot.

Inventors

• 👤 Jacques Amouroux
• 👤 Daniel Morvan

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