Method of making layered capacitors, and apparatus therefor

Abstract

Abstract Translated from German In einer Vorrichtung zur Herstellung von Schichtkondensatoren, in der Träger (3) in Vertiefungen (2) einer Trommel (1) befestigt und beim Durchlaufen von zwei Vakuumkammern (I, II) mit Belagsflächen unter zwischenliegenden Dielektrikumsschichten beschichtet werden, wobei die Belagsschichten aufgedampft werden, soll eine gleichmässige Schichtdicke für alle Belagsflächen gewährleistet sein. Hierzu ist eine feststehende Blende (9) vorgesehen, welche den Aufdampfbereich genau begrenzt, und eine bewegliche Abschirmblende (10, 11), welche in einem vorgegebenen Stellbereich synchron mit der Drehung der Trommel (1) vor Beginn der Beschichtung entfernt und nach dem Ende der Beschichtung wieder in den Dampfstrahl (D) eingeführt wird. In a device for the production of layer capacitors, in which carriers (3) are fastened in depressions (2) of a drum (1) and, when passing through two vacuum chambers (I, II), are coated with coating surfaces under intermediate dielectric layers, the coating layers being evaporated, a uniform layer thickness should be guaranteed for all covering surfaces. For this purpose, a fixed screen (9) is provided, which delimits the vapor deposition area precisely, and a movable shielding screen (10, 11), which is removed in a predetermined setting range synchronously with the rotation of the drum (1) before the start of the coating and after the end of the coating Coating is reintroduced into the steam jet (D).

Inventors

• 👤 Reinhard Dipl.-Phys. Behn

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