Measuring probe for use in measuring the temperature or mass of a flowing medium and process for its manufacture

Abstract

Abstract Translated from German Es wird eine Meßsonde zur Messung der Masse und oder Temperatur eines strömenden Mediums, insbesondere zur Messung der Ansaugluftmasse und Kraftstoffmasse von Brennkraftmaschinen vorgeschlagen, bei der auf einer dünnen Folie als Träger wenigstens ein temperaturabhängiger Widerstand gegebenenfalls mit wenigstens einem temperaturunabhängigen Widerstand zu einer Brückenschaltung ergänzt im Mediumstrom angeordnet ist. Alle Widerstände (4, 5) und die zugehörigen Leiterbahnen (16) sind mittels Maskenätzprozess aus einem ganzflächig auf einer ersten Folie aufgebrachten System (3) des Widerstandsmaterials entstanden und mit einer zweiten Folie überdeckt, wobei die beiden Folien an allen nicht von Widerständen und Leiterbahnen eingenommenen Bereichen miteinander dicht und fest verbunden sind. Unter Freilassung von Anschlußkontaktstellen (6). Die Meßanordnung wird in eine selbsttragende, strömungsgünstige Halterung eingesetzt unter optimaler thermischer Entkopplung zwischen Meßwiderständen pnd Halterung. A measuring probe for measuring the mass and or temperature of a flowing medium, in particular for measuring the intake air mass and fuel mass of internal combustion engines, is proposed in which, on a thin film as a carrier, at least one temperature-dependent resistor, optionally supplemented with at least one temperature-independent resistor to form a bridge circuit in the medium flow is arranged. All resistors (4, 5) and the associated conductor tracks (16) have been created by means of a mask etching process from a system (3) of the resistance material applied to the entire surface of a first film and covered with a second film, the two films not being covered by resistors and conductor tracks occupied areas are tightly connected. Leaving connection contact points (6) free. The measuring arrangement is inserted into a self-supporting, streamlined holder with optimal thermal decoupling between measuring resistors and holder.

Inventors

• 👤 Heiko Dr. Dipl.-Phys. Gruner
• 👤 Heinz Friedrich

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