Method for positioning two objects which are to be adjusted to one another

Abstract

Abstract Translated from German Automatisierung der Maskenjustierung um Kanten mit äußerst geringem Kontrast auf Siliziumscheiben mit höchster Genauigkeit zu Kanten auf der Maske zu justieren. Es werden verschiedene orthogonal zueinander verlaufende gerade Linien auf Scheibe und Maske mittels dazu parallel verlaufender zeilenweisen opto-elektronischen Abtastung die Intensität der Helligkeitswerte zeilenweise integnert, die Werte gespeichert und die Differenz aus dem Ergebnis von aufeinanderfolgenden Zeilen gebildet und aus dem entstehenden Verlauf Flächenschwerpunkte gebildet, die weiter zu einem Mittelwert zusammengefaßt werden. Mehrfachanordnung Scheibenstrich-Maskenstrich-Scheibenstrich oder umgekehrt. Automation of the mask adjustment in order to adjust edges with extremely low contrast on silicon wafers with maximum accuracy to edges on the mask. Various straight lines running orthogonally to each other on the disc and mask are integrated by line-by-line opto-electronic scanning, the intensity of the brightness values line by line, the values are stored and the difference is formed from the result of successive lines and from the resulting course the centroids are formed further summarized to an average. Multiple arrangement of disc stroke-mask stroke-disc stroke or vice versa.

Inventors

• 👤 Günter Dr. Doemens

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