Method of making polarizers consisting of a plurality of electrically conductive strips arranged on a glass carrier plate in parallel to each other

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von aus einer Vielzahl von auf einer Glasträgerplatte angeordneten parallel zueinander ausgerichteten elektrisch leitenden Streifen bestehenden Polarisatoren mit einem Rastermaß von ca. 1 f 10 der Lichtwellenlänge. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß ein erster Verfahrensschritt vorgesehen ist bei dem auf die Glasträgerplatte durch Bedampfen unter einem vorgegebenen Bedampfungswinkei eine wellige, dünenartige Schicht aus leitfähigem Material mit senkrecht zur Bedampfungsrichtung ausgerichteter gleichmäßiger Oberflächenwelligkeit mit einer Pierode von ca. 50 nm aufgebracht wird, und daß ein zweiter Verfahrensschritt vorgesehen ist, bei dem eine vorgegebene Stärke der dünenartigen Schicht durch Teilchenbeschuß unter einem vorgegebenen Beschußwinkel abgetragen wird, so daß eine Anordnung einer Vielzahl von parallel zueinander ausgerichteter, voneinander getrennter und damit elektrisch gegeneinander isolierter Mikrostreifen auf der Glasträgerpiatte entsteht. The invention relates to a method for producing polarizers consisting of a multiplicity of electrically conductive strips arranged parallel to one another and arranged on a glass carrier plate and having a pitch of approximately 1 f 10 of the light wavelength. The method is characterized in that a first method step is provided in which a wavy, dune-like layer of conductive material with a uniform surface ripple oriented perpendicular to the direction of vapor deposition is applied to the glass support plate by vapor deposition at a predetermined vapor deposition angle, and that a second method step is provided in which a predetermined thickness of the dune-like layer is removed by particle bombardment at a predetermined bombardment angle, so that an arrangement of a plurality of microstrips aligned parallel to one another, separated from one another and thus electrically insulated from one another, is produced on the glass carrier plate.

Inventors

• 👤 Hans Dipl.-Ing. Krüger
• 👤 Hans Dr. Rehme

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