DEVICE FOR SINGLE-SIDED COVERING OF SEMI-FINISHED WASHERS

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum einseitigen Abdecken von Halbleiterscheiben, deren andere Seite mit Hilfe chemischer und/oder galvanischer Prozesse bearbeitet wird. Das Ziel der Erfindung ist es, den Ausschuß bei der chemischen Bearbeitung von Halbleiterscheiben zu senken und eine höhere Produktivität zu erreichen. Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung zum einseitigen Abdecken und Pesthalten von Halbleiterscheiben zu schaffen, die eine sichere Abdeckung der einen Scheibenfläche und eine feste Halterung bei der Bearbeitung gewährleistet. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst, daß unter Ausnutzung des Vakuumprinzips die Scheibe konkav gewölbt wird, indem sie auf einen weichelastischen Scheibenaufnahmekörper gepreßt wird. Die Vorrichtung besteht aus - einem hohlen Grundkörper und einem oder mehreren darauf befestigten an der Oberfläche mit Nuten versehenen Scheibenaufnahmekörper, wobei, die Nuten durch Kanäle untereinander und über eine Durchführung und .den Hohlraum mit einem Unterdrucksystem verbunden sind. The invention relates to a device for covering one side of semiconductor wafers, the other side of which is processed using chemical and/or galvanic processes. The aim of the invention is to reduce waste during the chemical processing of semiconductor wafers and to achieve higher productivity. The object of the invention is to create a device for covering and holding semiconductor wafers on one side, which ensures secure covering of one wafer surface and firm support during processing. According to the invention, this object is achieved by utilizing the vacuum principle to form a concave wafer by pressing it onto a flexible wafer holding body. The device consists of a hollow base body and one or more wafer holding bodies fastened thereto, each provided with grooves on its surface, wherein the grooves are connected to one another by channels and to a vacuum system via a feedthrough and the cavity.

Inventors

• 👤 Hans-Peter Hennig
• 👤 Juergen Trautmann

Bibliographic Details